为什么半导体行业的等离子清洗机大多用铝质腔体

真空等离子清洗机的反应腔室常见的材质包括石英玻璃、不锈钢和铝合金等，不同行业和应用领域的选择会有所区别。用于半导体行业的等离子清洗机大多采用铝合金，这是为什么呢？

　　半导体行业用于清洗、刻蚀的等离子清洗机对真空反应腔室的材质选择比较讲究，毕竟处理晶圆、支架等产品对工艺环境的要求很高。普乐斯等离子清洗机选择铝质腔体大致有以下一些原因：

　　1、 铝合金密度低，强度高，超过优质钢，机械加工性能比较好。

　　2、 铝具有优良的导电性、导热性和抗蚀性。

　　3、材料对化学反应的兼容性比较好，不易产生金属污染、particle等。

　　4、表面处理方面铝合金较为丰富，包括电泳、喷涂、阳极氧化等。

　　5、趋肤深度铝是不锈钢的10倍以上，使得电流分布更均匀，腔体不容易发热

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